前英特尔首席执行官基辛格（Kissinger?

根据Kuai Technology 4月14日，英特尔·帕特·基辛格（Intel Pat Kissinger）的前首席执行官找到了一份新工作！我个人宣布我加入了Xlight担任执行董事长。 Xlight是半导体行业的起点，拥有EUV Extreme Ultraviolet光刻机器的主要商务室。它基于线性电子加速器生成了免费的电子激光器（FEL）光资源技术，这可以大大降低成本。当前的ASML EUV光刻机器使用激光等离子体EUV光源（LPP），它依赖于具有超高功率的高能量激光脉冲。因此，整个系统非常大且复杂，EUV光资源功率的力量有限，这也是高成本和价格的主要原因，单价超过1.5亿美元。因此，美国，中国，日本和其他人正在积极研究继任者。 FEL无纤维电子激光是EUV光的广泛乐观来源，包括两个MajoR技术途径：振荡器和自我扩增自发辐射。它可以以超过10kW的形式产生EVU资源强度，并且可以同时满足10台光刻机器的需求，而无需制作锡液滴和环境污染。实际上，ASML十年前考虑了Fel EUV光资源途径，但最终认为风险太高，并朝着LPP EUV光源转向。研究表明，10kW Power Fel EUV光源的建设成本约为4亿美元，每年运营成本为4000万美元。相比之下，250W Power LPP EUVHT来源的建设成本约为2000万美元，每年运营成本为1500万美元。在计算中，EFL路线建设成本仅为LPP路线的1/2，而且运营成本为1/15，总成本约为1/3。加入基辛格的公司Xlight产生了基于FEL EUV光源SY的ERL（能量恢复线性加速器）STEM可以赋予1000W的功率，即ASML的四倍，从而将单个晶圆光刻的成本降低了几乎50％。此外，单个光资源系统可以支持20台光刻机器，并拥有长达30年的寿命。 Xlight Fel Euv光源系统的另一个好处是与现有的ASML EUV光刻机器兼容，并且可以直接集成。可以预期，ASML光刻机器可以连接到2028，并且晶圆将开始。 Xlight的规模很高，但该团队在光刻和加速器领域拥有丰富的经验，包括来自斯坦福大学线性加速器的高级研究人员，首席科学家Gennady Stupakov博士去年赢得了IEEEE Society Accelerator Science和Technology奖。 [本文的结尾]如果您需要打印，请确保指示来源：Kuai技术编辑：Shangfang Wenq